国内光刻胶市场竞争激烈，头部企业包括彤程新材和南大光电，其中南大光电已通过专项验收，有望在12寸ArF和EUV领域取得进展。在半导体行业的设计、制造、封装、材料、电子化学品和电子晶体等相关行业中，光刻胶作为重要的工艺原料，其稳定性和关键性能指标对于半导体产业的发展至关重要。国内企业需要加强研发和认证工作，以应对市场需求。
光刻胶分为4类，主流市场为12寸厂的ArF光刻胶，国产化比例为5%-15%。长江二厂年产能为一厂20%的产能，采购流程需提前1年确定订单，整体国产光刻胶的采购比例为10%。政策包括给予研发厂商、ArF以及EUV奖金奖励，晶圆厂采购将收到补贴。选择光刻胶供应商时，需优先考虑工艺性能指标，其次考虑成本和品质稳定性。南大光电与彤程新材处于ArF国产化验证、专项验证以及Fab合作研发阶段。
1.光刻胶分为4类，即G线与I线光刻胶、ArF光刻胶、EUV光刻胶及KrF光刻胶；2012-2022年，主流半导体晶圆以6寸或8寸为基础向12寸发展，光刻胶的发展集中于12寸厂的ArF光刻胶，基本覆盖尺寸；更先进的EUV国内没有对应的光刻机，不存在EUV光刻胶，没有对应的量盘研发的生产线；G线与I线光刻胶用于0.35+um，KrF光刻胶用于0.15-0.25um，ArF光刻胶用于7-130nm。
2.G线与I线光刻胶于6寸的线上生产，国产化比例为80-90%，KrF光刻胶国产化比例为10-15%，ArF光刻胶于12寸的线上生产，国产化比例为5%，EUV处于研发阶段，彤程新材（北京科华）联合中科院进行研发，国内整个行业国产化程度均于上述数据的基础上超出5%+。
3.未来的国产替代是长期可持续的现象，主流市场为12寸厂的ArF光刻胶，EUV于国内的应用较少，国家加大国产设备厂商、国产材料、电子化学品以及光刻胶的扶持力度。政策包括给予研发厂商、ArF以及EUV奖金奖励，晶圆厂方面，若企业采购，其将收到补贴。
4.选择光刻胶供应商时，企业需优先考虑供应商的产品能否满足工艺性能指标，其次考虑成本，成本需较小，最后考虑产品品质的稳定性与一致性，购买设备与光刻胶等产品时引进多家厂商比价谈判购买。
5.国内研发主流的ArF光刻胶厂商的数量为3-4家，目前该行业存在壁垒，其他厂商无能力进入。头部厂商如南大光电与彤程新材处于ArF国产化验证、专项验证以及Fab合作研发阶段。
6.光刻胶需求方面，不新增产能情况下，若长江存储公司（以下简称长江）符合工艺性能、成本及产品品质标准的基础，满足国产迭代要求，其可达到5-10%/年的迭代，若建立新厂，其可于旧厂国产替代比例基础上递增5-10%，二厂于1935年建设，其年产能为一厂20%的产能，一厂处于满产状态时，二厂为20%。
7.光刻胶采购流程为研发通过国家专项验收后，与公司开展合作，开展样品实验验证其工艺稳定性，使用机台设备的工作人员对其综合评价，主要评价其工艺是否稳定，设备稳定性比例是否大幅增加，将评价意见反馈至采购部门，采购部门根据本厂未来产能开展采购。采购部门需提前1年确定订单，采购集中于3月与9月，若有变动，企业可于下半年开展调整。产品的晶圆机台验证时间为2年，验证光刻胶稳定性的时间为2年，短期稳定性实验需与长期稳定性实验相结合。
8.采购决策人听取工程部与设备工艺部的意见反馈，依据意见的同时，结合厂商的优劣势比较开展采购，整体国产光刻胶的采购比例为10%，此比例于行业为中等偏高；美国制裁中芯国际后，其对国产的支持力度较高，于北京存有国有化实验产品线，使用国产设备替代日本、韩国及美国的设备，积极与国产光刻胶厂商开展实验替代国外的光刻胶市场。
国内光刻胶市场主要由南大光电、彤程新材、上海新阳、晶瑞电材等企业主导，其中南大光电和彤程新材在ArF和EUV方面具有国家专项，南大光电已通过验收，彤程新材处于研发阶段。国际龙头供应商主要包括日本的JSR、信越化学、TOK以及住友化学，其占比达到80%。若产品性能达到标准，企业将优先采购国产产品。2022年10月，美国出台半导体出口管制新规，进一步推动国产进程与速度。
1.彤程新材的EUV与ArF产品处于研发阶段，具有国家专项；南大光电的ArF产品已通过专项验收，上述2所厂商为国产光刻胶的头部企业，最有希望在12寸的ArF和EUV方面有所作为。
2.其次为上海新阳与晶瑞电材，上海新阳的KrF光刻胶订单较多，ArF处于立项研发阶段并进行客户验证，晶瑞电材主要量产6寸I线光刻胶，ArF处于中试实验阶段。
3.光刻胶为多种产品进行一定配比合成，徐州博康不同于此，其只能生产单一产品。
4.国内厂商的产品线有所差异，干性ArF光刻胶已通过客户验证阶段，浸没ArF光刻胶处于研发阶段，EUV光刻胶已通过02专项验收，KrF光刻胶、G线及I线光刻胶已量产；对于设备、材料以及化学产品等，若取得客户验证即证明工艺稳定性和设备稳定性已经达到要求，不同厂商同一产品的性能区别较小。
5.南大光电主要供应干性ArF光刻胶与浸没ArF光刻胶，02专项科研已通过验收，EUV尚未开始涉及；晶瑞电材的G线与I线光刻胶处于量产阶段，KrF胶处于客户验证阶段，干性ArF光刻胶处于研发和产能建设阶段，浸没ArF于EUV尚未涉及；上海新阳的KrF光刻胶可满足量产，ArF光刻胶处于研发与认证阶段。
6.国际龙头供应商主要包括日本的JSR、信越化学、TOK以及住友化学，其占比达到80%，陶氏杜邦占10%；ArF光刻胶领域，日本优势较明显，占比达到80%，前4家公司垄断12寸主流ArF光刻胶；ArF光刻胶供应方面，日本JSR、信越化学、TOK、住友化学及陶氏化学占市场比重分别为25%、23%、21%、15%及5%，其余5-10%为国产，合作的国产厂商为南大光电，其与头部Fab开展合作与单独验证。
7.以共同获利为目标，半导体行业的设计、制造、封装、材料、电子化学品及电子晶体等对应行业，在国家更鼓励一条龙产业现象中，大幅实现国产替代。若工艺与性能满足标准，加大国产产品比例毋庸置疑。
8.企业为晶圆厂产线采购时，供应商定型后较少更换，其原因为该市场被日本四家龙头供应商所垄断，其光刻胶产品与质量非常稳定且性能较好，若更换为其他厂商，工艺满足要求，新建厂房时将因数量紧缺无法满足产量需求，企业需保证光刻胶产品供应的稳定性。
关注光刻胶的灵敏度、分辨率和留膜率，若出现突发事件会更换供应商。国内厂商已通过客户验证，性能与国外产品差别不大。国家政策支持国产化和研发补贴，但部分厂商存在垄断地位或产品短缺导致商品涨价。未来10-20年主流仍是12寸，投资额为1,000-3,000亿元。需求可分为国产替代和定制化新需求，ArF和EUV是最需要的产品，国家将加大在12寸厂的国产替代。
1.关注光刻胶的灵敏度、分辨率和留膜率，国内厂商已通过客户验证，性能与国外产品差别不大。头部厂商已处于ArF研发或验证阶段，因此性能较好。
2.若出现突发事件，企业会选择更换光刻胶供应商。如中芯国际存在危机感时，会主动与国内光刻胶厂商合作。国家支持产业升级和国产化，半导体行业利润率较高。
3.光刻胶对于国产扶持和研发补贴等有相应政策。部分厂商存在垄断地位或产品短缺导致商品涨价。考虑采购价格和工艺来源稳定性后，对国产供应商加大扶持力度。
4.通过验证后产品性能达标，若国内产品较国外产品差距较小，公司将考虑使用国内的光刻胶。南大光电是国内的合作伙伴，其ArF光刻胶在一厂和二厂无区别，KrF主要应用于8寸厂。
5.未来10-20年主流仍是12寸，投资额为1,000-3,000亿元。中芯国际曾新建8寸厂，投资额不到100亿元，18寸的可行性较低，稳定性也较难保证。
6.光刻胶需求可分为国产替代和定制化新需求。ArF和EUV是最需要的产品，国家将加大在12寸厂的国产替代。KrF可使用8寸和12寸的厂，厂商主要应用于8寸。
7.EUV的技术要求更高时，厂商将形成新的光刻胶。日本和国内厂商通过合作开发更先进的光刻胶。
8.关注光刻胶的关键性能指标，若出现突发事件会更换供应商。国内厂商已通过客户验证，性能与国外产品差别不大。国家政策支持国产化和研发补贴，但部分厂商存在垄断地位或产品短缺导致商品涨价。未来10-20年主流仍是12寸，投资额为1,000-3,000亿元。需求可分为国产替代和定制化新需求，ArF和EUV是最需要的产品，国家将加大在12寸厂的国产替代。EUV的技术要求更高时，厂商将形成新的光刻胶，日本和国内厂商通过合作开发更先进的光刻胶。
国产化动机涉及政府资金补贴，补贴金额根据国产化与供应量确定。企业需考虑设备稳定性，国内两家供应商已通过测试。出厂前将开展质量检测，产品到货后主要考虑灵敏度、分辨率和留膜率指标。国产化率增加10%主要通过替换海外产品实现，差异较小。2022年国产化率可达到10-15%，原因为美国制裁影响较大，各国利益诉求不同。
1.国产化的动机中涉及政府的资金补贴支持，其有具体的补贴，属于内部信息，补贴金额根据国产化与供应量确定；增量目标依据工艺和设备的稳定性确定，若与日本厂商的光刻胶区别较小，则可以提升5-10%。
2.实际验证的过程方面，将国内工艺指标与日本厂商的工艺指标对比，比较工艺区别大小，差异较大则无法使用，企业需考虑设备是否经常出问题，国内头部的两家供应商已通过测试。
3.出厂之前公司将开展质量检测，若通过检测，产品到货后主要考虑灵敏度、分辨率以及留膜率指标，通过后对于工艺等要求达到即可，不单独将产品不经过机台单独检测，反之将增加自身成本。
4.国产化率增加10%主要通过替换海外产品实现，差异较小；良率变化主要参考机台的工艺指标变化幅度、设备的生产工艺指标变化大小以及工艺稳定性等变化幅度。
5.2022年，产品国产化率可达到10-15%，其原因为美国制裁产生的影响较大导致加大国产替代较为急迫，美国、日本以及欧洲属于一个阵营，各国利益诉求不同。
来源：材料汇
2023年中国国际石油化工大会
将于9月18-22日召开
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