该设备主要用于多晶硅前处理工序，在高温真空环境下，对石墨电极、石墨基座、石墨卡瓣等进行煅烧，使石墨部件经酸洗、高温烘干后仍残余的水气和氯化盐等经高温真空煅烧后排出炉外，实现提供高纯洁净石墨部件的目的。性能特点1.装出料方式：顶部装出料、底部装出料。2.工作方式为周期作业式；可对石墨、陶瓷等材料在高温、高真空条件下进行煅烧处理，也可在充入保护气氛情况下煅烧；设备发热体采用高纯石墨碳棒，保温层采用复合型石墨碳毡，在使用过程中挥发量少，寿命长、隔热性好。3.设备占地小，生产效率高，平均能耗低。4.采用触摸屏、PLC控制，配合仪表及传感器可实现全自动运行（保留手动模式），可实时监控。5.设有多重安全防护措施，通过温度、压力计、安全阀等装置和连锁保护程序，使设备具备在发生超温、超压、冷却水欠压、过流、短路等故障时能够及时发出声光报警，并自动启动保护程序，保障设备和人员安全。性能参数型号VGBD-800VGBD-1000额定温度1600℃1600℃*高温度2000℃2000℃控温精度±1℃±1℃炉温均匀性±10℃±10℃工作区尺寸φ800×800φ1000×600冷态真空度6.67×10-3Pa6.67×10-3Pa压升率1Pa/h1Pa/h额定功率400KW400KW电源380V 50HZ380V 50HZ保护气体氩气氩气